對于尺寸要求極致最小化的應用場景,SmarAct提供緊湊的高分辨率定位方案。
 
				
						
德國SmarAct公司,專注于提供微納級精密定位和測量相關產(chǎn)品高端解決方案。利用其獨特的Stick-Slip驅(qū)動技術,強大的激光干涉儀檢測技術,可提供從一維到多維的位移臺乃至復雜的小型機器人系統(tǒng),廣泛應用于光學、生命科學、微組裝系統(tǒng)、半導體和顯微鏡領域。
對于尺寸要求極致最小化的應用場景,SmarAct提供緊湊的高分辨率定位方案。
當需要對樣品、工具或?qū)嶒炘O備精確定位時,通常需要多個自由度的復雜系統(tǒng)。
對于位移和振動,SmarAct提供靈活強大的精密測量方案。
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 Ⅰ. 壓電驅(qū)動器通過和其連接一個摩擦元件與導軌或者軸承的滑動模塊接觸,壓電驅(qū)動器本身安裝于一個固定的組件。 
 
 
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Stick-Slip摩擦元件長期工作會產(chǎn)生磨損,SmarAct通過升級EDU(Exchangeable Drive-Units)解決此問題,CLS系列直線納米位移臺均采用該技術。位移臺/系統(tǒng)不需返廠維修,由于SmarAct的出場預置,用戶可自行更換驅(qū)動器,降低更換的維護成本和時間成本。

SMARSHIFT電磁直接驅(qū)動(Electromagnetic Direct-Drives Technology)MLS系列位移臺,裝配非接觸式線性馬達作為驅(qū)動,無磨損。適用于需要體積緊湊、高速、高動力及納米精度同時滿足的應用場景,電磁驅(qū)動可以實現(xiàn)1m/s的移動速度。

SmarAct推出SMARFLEX納米掃描位移臺,采用壓電驅(qū)動實現(xiàn)掃描范圍可高達幾百μm的高精度定位。對于AFM這類掃描應用,SMARFLEX可提供極大的掃描速度和極小的掃描誤差。對于光學顯微應用,SMARFLEX可用于精確聚焦及光纖耦合等場景。
基于Stick-Slip的直線位移臺、旋轉(zhuǎn)臺和角位移臺。
基于高精度電磁電機的位移臺。
采用壓電驅(qū)動實現(xiàn)掃描范圍可高達幾百μm的高精度定位。
可工作于mK溫度范圍。
適用于高磁場環(huán)境或帶電粒子相關應用。
真空兼容(HV/UHV)-可加熱至130℃
模塊式系統(tǒng)允許將兼容的位移臺組裝成復雜系統(tǒng),且可實現(xiàn)再組裝。
2-4個自由度模塊式系統(tǒng)。
Hexapod-like定位系統(tǒng),6自由度,可定義基準點。
Hexapod-like系統(tǒng),兼具串行和并行運動方式。
靈活、高精度6自由度定位系統(tǒng)。
顯微樣品精確定位及微操系統(tǒng)。
高精度位移測量。
小樣品模態(tài)分析。
Metirio 系列提供極其緊湊的光學編碼器,具有亞納米級分辨。
半導體器件的電學性質(zhì)表征。
生命科學及光學顯微鏡領域的高精度、可靠解決方案
用于同步加速器光束線站及多用戶終端站的高精密、堅固解決方案
用于高分辨率3D打印,電子或掃描探針顯微鏡,納米工程,光譜學,衍射儀和量子計算應用
堅固可靠的工業(yè)研發(fā)設備.061