Acton公司UV/VUV反射鏡
美國Acton公司1961年成立，專業生產高端紫外鏡片和鍍膜產品，1975年開始提供鏡片給NASA -Apollo/Soyuz（阿波羅航天探月飛機）。特有VUV系列最短波長到真空紫外120nm的鏡片和鍍膜，反射鏡具有高反射率、更長壽命、高損傷閾值、耐潮解等特點，可提供定制解決方案。
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Acton準分子激光反射鏡
| 波長 | 反射率 | 1.0”直徑 | 2.0”直徑 |
|---|---|---|---|
| 126nm | ≥ 55% @ NI | M126-FR-1D-MB | M126-FR-2D-MB |
| ≥ 50% @ 45° AOI | M126-FR45-1D-MB | M126-FR45-2D-MB | |
| 147nm | ≥ 75% @ NI | M147-FR-1D-MB | M147-FR-2D-MB |
| ≥ 70% @ 45° AOI | M147-FR45-1D-MB | M147-FR45-2D-MB | |
| 157nm | ≥ 89% @ NI | M157-FR-1D-MB | M157-FR-2D-MB |
| ≥ 87% @ 45° AOI | M157-FR45-1D-MB | M157-FR45-2D-MB | |
| 172nm | ≥ 93% @ NI | M172-FR-1D-MB | M172-FR-2D-MB |
| ≥ 90% @ 45° AOI | M172-FR45-1D-MB | M172-FR45-2D-MB | |
| 193nm e | ≥ 98% @ NI | M193-FRe-1D-MB | M193-FRe-2D-MB |
| ≥ 97% @ 45° AOI | M193-FR45e-1D-MB | M193-FR45e-2D-MB | |
| 193nm XL | ≥ 97% @ NI | M193-FRXL-1D-MB | M193-FRXL-2D-MB |
| ≥ 96% @ 45° AOI | M193-FRXL45-1D-MB | M193-FRXL45-2D-MB | |
| 248nm | ≥ 98% @ NI | M248-FR-1D-MB | M248-FR-2D-MB |
| ≥ 97% @ 45° AOI | M248-FR45-1D-MB | M248-FR45-2D-MB | |
| 308nm | ≥ 98% @ NI | M308-FR-1D-MB | M308-FR-2D-MB |
| ≥ 97% @ 45° AOI | M308-FR45-1D-MB | M308-FR45-2D-MB | |
| 353nm | ≥ 99% @ NI | M353-FR-1D-MB | M353-FR-2D-MB |
| ≥ 98% @ 45° AOI | M353-FR45-1D-MB | M353-FR45-2D-MB |
Acton Nd:YAG激光反射鏡
| 波長 | 反射率 | 1”直徑 | 2”直徑 | 損傷閾值 |
|---|---|---|---|---|
| 355 nm @ NI | 99.9% | M355-FR-HY-1D-MB | M355-FR-HY-2D-MB | > 15 J/cm2* |
| 355 nm @ 45° AOI | ≥ 99% | M355-FR45-HY-1D-MB | M355-FR45-HY-2D-MB | > 15 J/cm2* |
* 重頻可達100kHz
Acton 雙波段準分子/UV激光反射鏡
| 波長 | 入射角度 | λ1 % R |
λ2 % R |
1”直徑 | 2”直徑 |
|---|---|---|---|---|---|
| 248/633nm | @ Near NI | ≥ 97% | ≥ 80% | M248/633-FR-1D-MB | M248/633-FR-2D-MB |
| 248/633nm | @ 45° AOI | ≥ 97% | ≥ 80% | M248/633-FR45-1D-MB | M248/633-FR45-2D-MB |
| 266/633nm | @ Near NI | ≥ 97% | ≥ 80% | M266/532-FR-1D-MB | M266/532-FR-2D-MB |
| 266/532nm | @ 45° AOI | ≥ 97% | ≥ 80% | M266/532-FR45-1D-MB | M266/532-FR45-2D-MB |
| 308/633nm | @ Near NI | ≥ 97% | ≥ 80% | M308/303-FR-1D-MB | M308/633-FR-2D-MB |
| 308/633nm | @ 45° AOI | ≥ 97% | ≥ 80% | M308/633-FR45-1D-MB | M308/633-FR45-2D-MB |
| 353/633nm | @ Near NI | ≥ 98% | ≥ 80% | M353/633-FR-1D-MB | M353/633-FR-2D-MB |
| 353/633nm | @ 45° AOI | ≥ 98% | ≥ 80% | M353/633-FR45-1D-MB | M353/633-FR45-2D-MB |
Acton Al+MgF2寬波段深紫外反射鏡
| 峰值波長 | Avg. %R (峰值波長至600nm) | 0.5″ 直徑 | 1.0″ 直徑 | 1.5″ 直徑 | 2.0″ 直徑 |
|---|---|---|---|---|---|
| 120nm | 85% | H1200-.5D-MB | H1200-1D-MB | H1200-1.5D-MB | H1200-2D-MB |
| 160nm | 87% | H1600-.5D-MB | H1600-1D-MB | H1600-1.5D-MB | H1600-2D-MB |
| 190nm | 87% | H1900-.5D-MB | H1900-1D-MB | H1900-1.5D-MB | H1900-2D-MB |
Acton 增強型寬波段MLD反射鏡
| 覆蓋波長 | Avg. %R @ NI | 0.5″ 直徑 | 1.0″ 直徑 | 1.5″ 直徑 | 2.0″ 直徑 |
|---|---|---|---|---|---|
| 190-250nm | 85% | M190-AL/MLD-.5D-MB | M190-AL/MLD-1D-MB | M190-AL/MLD-1.5D-MB | M190-AL/MLD-2D-MB |
