

SMARFLEX納米掃描位移臺,采用壓電驅動實現掃描范圍可高達幾百μm的高精度定位。對于AFM這類掃描應用,SMARFLEX可提供極大的掃描速度和極小的掃描誤差。對于光學顯微應用,SMARFLEX可用于精確聚焦及光纖耦合等場景。
| 型號 | 掃描范圍 | 負載 | 尺寸 | 掃描方向 | 
| PLF-3232-x.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 12 mm3 | X | 
| PLF-3232-xy.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 20 mm3 | X,Y | 
| PLF-3232-z.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 15 mm3 | Z | 
| PLF-5252-x.200 | > 200μm | 5N | 52 x 52 x 15 mm3 | X | 
可選材質:Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)