SHL系列升降式直線納米位移臺
| 型號 | 行程 | 最大舉力 | 精度 |
| SHL-1D80N-1 | 1 mm | 80 N | 1 nm |
| SHL-3D5N-5 | 5 mm | 5?N | 1 nm |
| CHS-3232-1D-5 | 5 mm | 5 N | 1 nm |
| CHS-5237-1D-10 | 10 mm | 10 N | 1 nm |
| CHS-9257-1D-15 | 20 mm | 15 N | 1 nm |
其他參數及選項
- 開環步進：50-3000nm, 50-1500nm
- 壓電掃描范圍：0.5μm
- 壓電掃描精度<1nm
- 速度>9mm/s
- 可選閉環驅動器及分辨率
- -L: 4nm(MCS2控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
- -S, -SC: 1nm(MCS2控制器)
- 氧化發黑選項：-BK
- 高真空和超高真空選項：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
| 產品特點 | |
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| 應用領域 | |
| ? 光學研究： 電動光闌、狹縫、濾光片輪、光纖準直、鏡片調節 ? 掃描電鏡/光學/原子力顯微鏡：樣品、探測器/光源定位、樣品操作 ? 自動化控制：低成本、超小體積、高精度、模塊化、直接集成 ? 材料應用：缺口測量、張力、微小壓縮測量、刮痕彎曲等測量 ? 天文、航天航空： 高加速度、低壓、低溫條件下控制 ? 度量衡學：長度測量、厚度測量、坐標測量、位置計量 ? 生命科學：細胞操作、膜片鉗、計數&分選 |
