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MLL系列直線納米位移臺-電磁驅動技術、超大行程
MLL-400系列直線納米位移臺
| 機械參數 | |
| 行程(mm) | 200 | 300 |
| 連續力(N) | 6 |
| 峰值力(N) | 18 |
| 垂直負載力(N) | 50 |
| 無負載移動質量(g) | 下軸：13000，上軸：6000 |
| 尺寸(mm) | 400x400x70 |
| 自重(kg) | 21 |
| 材料 | |
| 基板材料 | 陽極氧化鋁 |
| 閉環控制 | |
| 最大速度(mm/s) | 下軸：200，上軸200 |
| 單向重復性(nm)，MCS2控制器 | < ±100 | 150 |
MLL-82系列直線納米位移臺
| 機械參數 | |
| 行程(mm) | 105——405 |
| 連續力(N) | 5 |
| 峰值力(N) | 15 |
| 垂直負載力(N) | 50 |
| 無負載移動質量(g) | 400 |
| 尺寸(mm) | 82 x 250——550 x 30 |
| 材料 | |
| 基板材料 | 陽極氧化鋁 |
| 閉環控制 | |
| 最大速度(mm/s) | 2000 mm/s (MLL-82-500) |
| 單向重復性(nm)，MCS2控制器 | < ±45 |
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MR系列旋轉臺-電磁驅動技術
MR-9224旋轉臺
| 機械參數 | |
| 行程(°) | 360 |
| 連續扭矩(Ncm) | >10 |
| 峰值扭矩(N) | >30 |
| 垂直負載力(N) | 50 |
| 孔徑(mm) | 25 |
| 尺寸(mm) | 92 x 92 x 24 |
| 自重(g) | 650 |
| 材料 | |
| 基板材料 | 陽極氧化鋁 |
| 開環控制 | |
| 最大角速度(°/s) | 3000 |
| 閉環控制 | |
| 傳感器分辨率(μ°) | <2 |
| 單向重復性(μ°) | 40 |
| 最大角速度(°/s) | 3000 |
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MLS系列直線納米位移臺-電磁驅動技術
MLS-32系列直線納米位移臺
| 型號 | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| MLS-3252 | 25 mm | 32 x 52 x 15 mm3 | 80 g |
- 連續力：1N
- 峰值力：2.5N
- 垂直負載：1kg
- 移動質量：40g
- 閉環控制
- 速度：350mm/s (半行程，無負載)
- 最大加速度：50m/s2(無負載)
- 定位穩定性：3nm
- 全行程重復精度(MCS2控制器)：±50nm(單向), ±200nm(雙向)
MLS-52系列直線納米位移臺
| 型號 | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| MLS-5282 | 38 mm | 52 x 82 x 14 mm3 | 200 g |
- 連續力：2N
- 峰值力：5N
- 垂直負載：2kg
- 移動質量：100g
- 閉環控制
- 速度：750mm/s (半行程，無負載)
- 最大加速度：45m/s2(無負載)
- 定位穩定性：3nm
- 全行程重復精度(MCS2控制器)：±50nm(單向), ±200nm(雙向)
MLS-92系列直線納米位移臺
| 型號 | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| MLS-92122 | 65 mm | 92 x 122 x 17 mm3 | 640 g |
- 連續力：7.5N
- 峰值力：22N
- 垂直負載：5kg
- 移動質量：400g
- 閉環控制
- 速度：900mm/s (半行程，無負載)
- 最大加速度：45m/s2(無負載)
- 定位穩定性：3nm
- 全行程重復精度(MCS2控制器)：±50nm(單向), ±200nm(雙向)
其他參數及選項
- 材質選項：標準鋁座材質
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