對(duì)于尺寸要求極致最小化的應(yīng)用場(chǎng)景，SmarAct提供緊湊的高分辨率定位方案。
德國(guó)SmarAct公司，專注于提供微納級(jí)精密定位和測(cè)量相關(guān)產(chǎn)品高端解決方案。利用其獨(dú)特的Stick-Slip驅(qū)動(dòng)技術(shù)，強(qiáng)大的激光干涉儀檢測(cè)技術(shù)，可提供從一維到多維的位移臺(tái)乃至復(fù)雜的小型機(jī)器人系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)、生命科學(xué)、微組裝系統(tǒng)、半導(dǎo)體和顯微鏡領(lǐng)域。
SmarAct產(chǎn)品線
當(dāng)需要對(duì)樣品、工具或?qū)嶒?yàn)設(shè)備精確定位時(shí)，通常需要多個(gè)自由度的復(fù)雜系統(tǒng)。
對(duì)于位移和振動(dòng)，SmarAct提供靈活強(qiáng)大的精密測(cè)量方案。
SmarAct驅(qū)動(dòng)技術(shù)
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Ⅰ. 壓電驅(qū)動(dòng)器通過(guò)和其連接一個(gè)摩擦元件與導(dǎo)軌或者軸承的滑動(dòng)模塊接觸，壓電驅(qū)動(dòng)器本身安裝于一個(gè)固定的組件。
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Stick-Slip摩擦元件長(zhǎng)期工作會(huì)產(chǎn)生磨損，SmarAct通過(guò)升級(jí)EDU(Exchangeable Drive-Units)解決此問(wèn)題，CLS系列直線納米位移臺(tái)均采用該技術(shù)。位移臺(tái)/系統(tǒng)不需返廠維修，由于SmarAct的出場(chǎng)預(yù)置，用戶可自行更換驅(qū)動(dòng)器，降低更換的維護(hù)成本和時(shí)間成本。
SMARSHIFT電磁直接驅(qū)動(dòng)（Electromagnetic Direct-Drives Technology）MLS系列位移臺(tái)，裝配非接觸式線性馬達(dá)作為驅(qū)動(dòng)，無(wú)磨損。適用于需要體積緊湊、高速、高動(dòng)力及納米精度同時(shí)滿足的應(yīng)用場(chǎng)景，電磁驅(qū)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)1m/s的移動(dòng)速度。
SmarAct推出SMARFLEX納米掃描位移臺(tái)，采用壓電驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)掃描范圍可高達(dá)幾百μm的高精度定位。對(duì)于AFM這類掃描應(yīng)用，SMARFLEX可提供極大的掃描速度和極小的掃描誤差。對(duì)于光學(xué)顯微應(yīng)用，SMARFLEX可用于精確聚焦及光纖耦合等場(chǎng)景。
位移臺(tái)
基于Stick-Slip的直線位移臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)和角位移臺(tái)。
基于高精度電磁電機(jī)的位移臺(tái)。
采用壓電驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)掃描范圍可高達(dá)幾百μm的高精度定位。
特殊環(huán)境兼容位移臺(tái)
可工作于mK溫度范圍。
適用于高磁場(chǎng)環(huán)境或帶電粒子相關(guān)應(yīng)用。
真空兼容（HV/UHV）-可加熱至130℃
定位系統(tǒng)
模塊式系統(tǒng)允許將兼容的位移臺(tái)組裝成復(fù)雜系統(tǒng)，且可實(shí)現(xiàn)再組裝。
2-4個(gè)自由度模塊式系統(tǒng)。
Hexapod-like定位系統(tǒng)，6自由度，可定義基準(zhǔn)點(diǎn)。
Hexapod-like系統(tǒng)，兼具串行和并行運(yùn)動(dòng)方式。
靈活、高精度6自由度定位系統(tǒng)。
顯微樣品精確定位及微操系統(tǒng)。
精密測(cè)量
高精度位移測(cè)量。
小樣品模態(tài)分析。
Metirio 系列提供極其緊湊的光學(xué)編碼器，具有亞納米級(jí)分辨。
半導(dǎo)體器件的電學(xué)性質(zhì)表征。
產(chǎn)品應(yīng)用
生命科學(xué)及光學(xué)顯微鏡領(lǐng)域的高精度、可靠解決方案
用于同步加速器光束線站及多用戶終端站的高精密、堅(jiān)固解決方案
用于高分辨率3D打印，電子或掃描探針顯微鏡，納米工程，光譜學(xué)，衍射儀和量子計(jì)算應(yīng)用
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堅(jiān)固可靠的工業(yè)研發(fā)設(shè)備.061
